分辨率 1.0nm；
最大放大倍数：90万倍；加速电压：0.1KV~30KV；
二次电子像，背散射电子像，X射线能谱分析。
用于各种固体材料（包括绝缘材料）表面形貌，微区成分分析和晶体学分析。
魏玉顺
