所有产品 > 仪器设备 > 仪器共享
产品信息图片
等离子体化学气相沉积机
仪器分类:
浏览量: 发布时间:
所在地:天津
服务承诺:客户至上 如实描述
  • 产品详情
  • 服务评价
  • 成交记录
  • 仪器信息
    规格型号 :
    PlasmaPro 100 PECVD
    设备原值 :
    250(万元)
    产地国别 :
    英国
    学科领域 :
    技术指标 :
    详见下图
    主要功能 :
    用于SiO和SiN的均匀沉积,设备具有稳定性好、重复性高、兼容性好的特点。设备最大支持6英寸片。沉积薄膜均匀性优于2%,重复性优于3%。薄膜应力小,耐湿法腐蚀,具有很高的成膜质量。
    服务信息
    服务内容 :
    广泛应用于半导体材料及薄膜的微纳米结构加工与相关研究等。
    收费标准 :
    用户须知 :
      联系我们

      白国人 

      15201523407 

      更多推荐